我國首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的硅電容傳感器日前在沈陽問世。11月29日，中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會、中國機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司、中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會傳感器分會聯(lián)合舉辦了硅電容、硅壓阻復(fù)合傳感器推研會。專家認(rèn)為，這兩種產(chǎn)品達(dá)到了當(dāng)今國際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，將改變我國企業(yè)一直靠進(jìn)口硅電容傳感器的歷史。 
　　傳感器是工業(yè)自動化控制領(lǐng)域很重要的部件，目前，我國高性能傳感器基本依賴進(jìn)口，嚴(yán)重阻礙了相關(guān)變送器產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，牽制和影響了民族產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在國家“863”計劃、國家中小企業(yè)創(chuàng)新基金、科技部新產(chǎn)品專項基金的支持下，沈陽儀表科學(xué)研究院研制成功硅電容、硅壓阻復(fù)合傳感器。該院是傳感器國家工程研究中心的依托單位，傳感器生產(chǎn)的工藝條件、設(shè)備條件在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位?？蒲腥藛T通過技術(shù)攻關(guān)，突破了影響傳感器性能的多項工藝難點和關(guān)鍵技術(shù)，研制出的高性能硅電容差壓傳感器，具有自補(bǔ)償效應(yīng)，核心元件采用微機(jī)械加工技術(shù)，溫度范圍寬，精度高，穩(wěn)定性好，成功實現(xiàn)了新型高性能傳感器的自主開發(fā)和智能變送器核心部件的自主配套。硅壓阻復(fù)合傳感器，是能同時感受兩種或兩種以上不同被測量參數(shù)并轉(zhuǎn)換成可用信號輸出的傳感器，滿足了工業(yè)智能儀表用傳感器的需求。這兩種產(chǎn)品的問世并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，提升了我國壓力傳感器、變送器的性能檔次，縮小了儀表行業(yè)與國外產(chǎn)品差距，填補(bǔ)了我國自主生產(chǎn)智能儀表的空白。